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機械社區

標題: 真空泄露？真空腔體 [打印本頁]

作者: 小袁好累 時間: 2024-7-1 09:01
標題: 真空泄露？真空腔體
請教大家一個真空不保壓的問題？腔室16L，真空腔體在出廠檢驗過漏氣率6.2*10-2次方pa.L/s
腔體主要材質是304不銹鋼，腔體的門板是鋁合金，內表面電解拋光過。
現在情況是，空抽，介質是空氣，關閉擋板閥后，理論來說是保壓狀態，
但結果是關閉擋板閥就開始升壓，從10pa緩慢升壓，至10小時后升壓到150pa
后面再次腔體撿漏卻沒有發現漏點，對了，總共抽真空20幾次，都是用常規空氣破真空的

作者: gunianyisheng 時間: 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內部虛漏

作者: gunianyisheng 時間: 2024-7-16 13:29
常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

作者: ericshen12 時間: 2024-7-19 19:39

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:29
常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

你好啊，這方面資料是在什么書籍上有介紹啊。

作者: 駱馬湖鐵匠 時間: 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

作者: 游離縉云 時間: 2024-7-22 16:26
內壁有沒有拋光，焊接是內焊嗎，有沒有死角儲存有空氣？

作者: 小火鷹 時間: 2024-9-5 10:10
烘烤過嗎

作者: 小袁好累 時間: 2024-11-19 15:00

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內部虛漏

有點懷疑是燕尾槽O型圈哪里沒有開個連通的槽，讓燕尾槽與腔體內部連接，抽真空的時候順便把燕尾槽夾層的空氣也抽走，這樣減少內部虛漏的可能

作者: 小袁好累 時間: 2024-11-19 15:02

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:29
常規空氣吸附在內壁，造成虛漏，或者其他部件放氣

里面沒有其他零件，空抽，密封件采用的低放氣率的氟橡膠，之前有150度烘烤1小時脫氣過

作者: 小袁好累 時間: 2024-11-19 15:05

駱馬湖鐵匠發表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出來的背景值可以達到5E-9Pa.m³/s

我也覺得供應商做的不行，感覺電解拋光做的不好，你這個漏率要求我在磁控濺射上看到過，我這個閃蒸要求不是很高，之前要求E-4pa L/S，供應商都達不到

作者: 小袁好累 時間: 2024-11-19 15:06

游離縉云發表于 2024-7-22 16:26
內壁有沒有拋光，焊接是內焊嗎，有沒有死角儲存有空氣？

長方體結構的腔室，內表面鋁合金材質和304不銹鋼都電解拋光過，鋁合金電解之前還做了陽極氧化，不清楚這兩個表處會不會反應，出現問題

作者: 小袁好累 時間: 2024-11-19 15:07

小火鷹發表于 2024-9-5 10:10
烘烤過嗎

150度烘烤1小時過

作者: 小袁好累 時間: 2025-5-16 13:47

gunianyisheng 發表于 2024-7-16 13:28
有沒有可能真空內部虛漏

您好，腔體內部沒有其他零件，是空腔體，內表面均采用電解拋光處理

作者: 小袁好累 時間: 2025-5-16 13:49

小火鷹發表于 2024-9-5 10:10
烘烤過嗎

烘烤過，200℃2小時烘烤脫氣

作者: 機械社區618 時間: 2025-5-19 10:23
幾個月過去了，你們找到根本原因了嗎？

作者: 駱馬湖鐵匠 時間: 3 天前
鋁合金電解之前還做了陽極氧化，這個有問題，我這邊做的腔室和真空門均采用304的，電解拋光，BG值達到5.0E-9Pa.m3/s,要是不計成本的話，最好是316L

作者: 菜又愛玩 時間: 3 天前
大佬，解決了嗎，最后到底是啥問題啊

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