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標(biāo)題: 求助大佬,氣浮平臺的設(shè)計 [打印本頁]

作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-24 16:23
標(biāo)題: 求助大佬,氣浮平臺的設(shè)計
本帖最后由 一路向北ck 于 2022-5-24 16:24 編輯

請教各位大佬,是否有圖片中的高精度氣浮平臺的設(shè)計經(jīng)驗
作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-24 16:46
目前行業(yè)內(nèi)很多此類臺子,想學(xué)習(xí)一下
作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-24 16:46
本帖最后由 一路向北ck 于 2022-5-24 16:47 編輯

也想和大家一起交流交流
作者: 大白小白    時間: 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。
作者: 沒運氣的小男孩    時間: 2022-5-24 21:28
在之前的項目中接觸過一些,談不上什么經(jīng)驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅(qū)動,對環(huán)境和氣源有一定要求;承載能力可以按照2kg/cm^2估算;氣膜厚度一般控制在10um左右,氣膜剛度一般通過增加預(yù)載的方式來調(diào)整;節(jié)流孔通常有小孔節(jié)流和多孔材料兩種;國外品牌Aerotech、Newway等。樓主如果有詳細(xì)需求可以具體探討一下。
作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-25 09:18
之前我設(shè)計一臺設(shè)備,用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊(多孔材料),這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié),對裝配要求較高,第一次做出來的精度不高,達不到同行做出來的重復(fù)定位精度0.1-0.3um。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機臺結(jié)構(gòu)比較緊湊,看著不像用的空氣軸承塊。
猜測用的小孔節(jié)流的方案,想請教一下有沒有這方面的經(jīng)驗可以交流分享的
作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-25 09:18
大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復(fù)!我的經(jīng)驗如下

作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-25 09:21
沒運氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28
在之前的項目中接觸過一些,談不上什么經(jīng)驗。一般這種氣浮臺采用直線電機驅(qū)動,對環(huán)境和氣源有一定要求;承 ...

感謝回復(fù)!
多孔材料的機臺我設(shè)計過一臺,精度沒達到預(yù)期。
目前想了解一下小孔節(jié)流的方案,想具體請教一下,能否留個聯(lián)系方式。

作者: 1027726686    時間: 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些,直線電機建議用無鐵芯,光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配,環(huán)境溫度需要控制的很好建議增加溫補,不然影響精度。材料盡可能統(tǒng)一化,傳動及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。
作者: 一路向北ck    時間: 2022-5-25 14:24
1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺確實用直線電機更好一些,直線電機建議用無鐵芯,光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配,環(huán)境溫度需要 ...

感謝分享!
你是做運動平臺這塊的嗎?

作者: 1027726686    時間: 2022-5-25 15:16
研發(fā)三坐標(biāo),有共通之處。
作者: 沒運氣的小男孩    時間: 2022-5-25 16:38
一路向北ck 發(fā)表于 2022-5-25 09:18
之前我設(shè)計一臺設(shè)備,用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊(多孔材料),這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié),對裝配要求 ...

單獨從圖片上無法準(zhǔn)確判斷采用何種氣浮軸承。如果單純重復(fù)定位精度0.1~0.3um,兩種軸承其實都可以實現(xiàn),加工和裝配工藝是一方面,樓上說的溫度補償也是非常重要的一點,還有測量環(huán)境,材料選擇,光柵尺的選擇,控制算法,需要多方面考慮。QQ:564384682





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