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機械社區

標題: 硅片甩干的轉速一般為多少? [打印本頁]

作者: Godzera711    時間: 2021-12-4 21:16
標題: 硅片甩干的轉速一般為多少?
如題,單片式的濕法刻蝕機在刻蝕、用離子水清洗硅片后的甩干速度一般為多少呢?小于1000rpm需要多久的甩干時間啊有大佬知道嗎


作者: 東北制造    時間: 2021-12-5 06:34
加溫
作者: 遠祥    時間: 2021-12-7 22:08
這個最好是現場實物測量一下。。。
作者: s453575112    時間: 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 時間在30s左右 對于 8寸wafer
作者: Godzera711    時間: 2021-12-8 20:36
s453575112 發表于 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 時間在30s左右 對于 8寸wafer

好的,謝謝您






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