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標題: 關于真空吸附裝置、氣動旋轉接頭 [打印本頁]

作者: Godzera711 時間: 2021-7-11 17:07
標題: 關于真空吸附裝置、氣動旋轉接頭
目前，我要做一個真空吸附裝置，用真空吸盤來吸附硅晶片，而且真空吸盤會隨著電機軸一起旋轉，原理圖如圖1所示，因為考慮到氣管會和電機軸纏繞在一起，因此考慮在電機軸和真空吸盤之間加一個氣動旋轉接頭，因為真空吸盤轉速會達到3000-4000rpm，所以得定制高速的旋轉接頭，所以我在想有沒有更簡單的方法。現有的使用案例，如圖2所示，紅色圈里的這個接頭是屬于定制的氣動旋轉接頭嗎？哪里可以買到呢？因為只有圖片，不太了解這個具體的結構原理，就看著這個接頭比較簡單，而且可以實現我上面說的原理。有懂的老哥可以指點一下啊？
圖3，4,5是另外一個設備的結構，主要關注電機軸和上面的接頭，可以看到圖中的電機軸做成了空心狀的，其實也是為了實現真空吸附，關于圖中的接頭結構、原理以及軸做成了空心的，有了解的老哥指點一下嗎？
其實我就是想找到圖2或者圖5的這種接頭，來復現這種產品。我表達的有點亂，我空間也發過類似的帖子，可以借助來理解，希望大佬指點，有更好的方案也可以提出來，謝謝啦！

作者: LiNing_jrjub 時間: 2021-7-11 17:18
本帖最后由 LiNing_jrjub 于 2021-7-11 17:20 編輯

旋轉密封，一直都是個難題。而且你這個還是高速旋轉密封
SMC的高速旋轉密封接頭最高也就1500轉,達不到你的要求
建議你采取抽真空的方式，在旋轉端設置小型真空罐
在旋轉啟動之前，進行抽真空，旋轉結束之后，破真空取件

作者: xue428032 時間: 2021-7-11 17:32
本帖最后由 xue428032 于 2021-7-11 17:39 編輯

買標準的氣動滑環,好像沒那么高轉速的

作者: 曉昀 時間: 2021-7-11 23:38
有專門做旋轉接頭的，在網上找。

作者: cnct 時間: 2021-7-12 08:24
網上淘寶有大把的，你搜下

作者: 謙卑畏天恩 時間: 2021-7-12 08:25
產品生產速度不快的話用2-3個小型無刷真空泵直接安裝在電機轉盤上吸附硅晶片。通過導電滑環供電，注意做好動平衡。
產品生產速度快，電機空心軸上加裝一個空心柱塞偶件作為真空泵的通氣口，柱塞偶件用低蒸汽壓的真空泵油作為密封（柱塞偶件配合好，真空泵油基本無消耗），也可以實現高轉速。

作者: 謙卑畏天恩 時間: 2021-7-12 08:34
也可以在電機空心軸的下方用兩個研磨好的鋼制高硬度平面圓盤或是石墨，一頭固定在電機軸上，另一頭靜止。
2頭利用適合的彈簧稍微彈緊。有一點漏氣也沒關系，真空泵流量大一點就行。

作者: 459827194 時間: 2021-7-12 09:02
速度太快，考慮下機械密封+大流量真空發生器

作者: xinshiji666 時間: 2021-7-12 11:36
有專門定做電滑環的廠家，電、氣集成在一起，3-4千轉問題不大。
如果擔心真空泄露，也可以考慮另一種方法，吹氣，在出口加一個真空發生器；
再或者用非接觸式吸盤，原理就是吹氣產生吸附力，可以問問施邁茨、SMC等；
前提是你的環境允許吹氣嗎？如果不允許只能抽真空了。

作者: 朱威威 時間: 2021-7-12 16:02
電機軸和真空吸盤之間加旋轉接頭？你先確定這個接頭加在哪里吧，圖2和圖5白色的是真空托盤，金屬色的是定位托盤用的小旋轉臺，這個肯定是要自己做的。剛才我隨便找了兩個視頻，別人轉速都做到10000rpm了，你這是不是有點落伍啊
https://haokan.baidu.com/v?vid=4387102265320202827&pd=bjh
https://haokan.baidu.com/v?vid=1 ... thor&type=video

作者: 459827194 時間: 2021-7-12 16:06
SMC 有MQR1 回轉接頭轉速 3000轉能滿足，可以去咨詢下

作者: Godzera711 時間: 2021-7-12 20:39

朱威威發表于 2021-7-12 16:02
電機軸和真空吸盤之間加旋轉接頭？你先確定這個接頭加在哪里吧，圖2和圖5白色的是真空托盤，金屬色的是定位 ...

那這個真空吸附是怎么實現的？您知道嗎？小旋轉臺與電機軸之間是還有一個軸承嗎？中間那結構我還沒看明白。

作者: Godzera711 時間: 2021-7-12 21:06

朱威威發表于 2021-7-12 16:02
電機軸和真空吸盤之間加旋轉接頭？你先確定這個接頭加在哪里吧，圖2和圖5白色的是真空托盤，金屬色的是定位 ...

第一個視頻里的帶O型圈的托盤，您知道它的具體結構嘛或者是相關的廠家，還有這個O型圈是為了密封嗎？

作者: 重誠WBL 時間: 2021-7-12 21:17
硅片哪個階段用這么快的轉速？插片和清洗用不上吧

作者: Godzera711 時間: 2021-7-12 21:27

重誠WBL 發表于 2021-7-12 21:17
硅片哪個階段用這么快的轉速？插片和清洗用不上吧

濕法刻蝕清洗之后甩干

作者: 重誠WBL 時間: 2021-7-12 21:32

Godzera711 發表于 2021-7-12 21:27
濕法刻蝕清洗之后甩干

在制絨階段？我們這里就到清洗和插片哈哈

作者: 遠祥 時間: 2021-7-13 22:43
這個很相似電氣滑環的配件了！

作者: ROTOFLUXCHINA 時間: 2021-7-14 11:04
我這里有真空吸附用的高速旋轉接頭，最大6000轉，電話 13811782875，微信同

作者: 林暉LINHUI 時間: 2021-8-30 17:49
我可以幫助你解決這個旋轉接頭的問題，可以非標定制，旋轉接頭在氣體和真空方面非常有優勢，公司：營口林暉密封技術有限公司，技術交流服務熱線：15041784127（微信同步）

作者: ahway 時間: 2021-11-19 18:16
旋轉接頭（通氣）電子行業中常見，比如SMD測試設備中間的那個就是：
(, 下載次數: 70)
SMC、Festo等品牌都有類似的高速旋轉接頭（過正壓、負壓均可）： (, 下載次數: 95)

作者: wxagzx 時間: 2023-2-6 11:55
學習一下

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