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標(biāo)題: 10級無塵設(shè)備內(nèi)材料要求 [打印本頁]

作者: zbn@2016    時間: 2021-3-11 09:56
標(biāo)題: 10級無塵設(shè)備內(nèi)材料要求
請問,有沒有大神是做過10級無塵等級要求的設(shè)備的,我想咨詢下內(nèi)部的機械材料,運動組件是不是有特別的要求。環(huán)境是:氮氣環(huán)境下,10級(上方布有FFU)' [, R# ^1 K6 ]7 p* C

作者: 遠(yuǎn)祥    時間: 2021-3-13 16:21
這個需要增加額外的冷卻防護液來保護密封圈。




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